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電子顯微鏡是目前應(yīng)用廣泛的顯微鏡。它可以把很小的物體放大到2000倍,并且可以通過電子顯微鏡清楚地觀察金屬原子的結(jié)構(gòu),甚至半導(dǎo)體原子的整體排列情況,電子顯微鏡是一個(gè)很神奇的儀器,那么結(jié)構(gòu)是什么電子顯微鏡?下面小編就為大家介紹一下。
電子顯微鏡結(jié)構(gòu):
電子顯微鏡由鏡筒、真空裝置和電源柜三部分組成。
鏡筒主要有電子源、電子透鏡、樣品架、熒光屏和探測(cè)器等部件。這些部件通常從上到下組裝成一個(gè)圓柱體。
電子透鏡用于聚焦電子,是電子顯微鏡鏡筒的重要組成部分。一般使用磁透鏡,有時(shí)也使用靜電透鏡。它利用與鏡筒軸對(duì)稱的空間電場(chǎng)或磁場(chǎng),使電子軌跡向軸彎曲,形成焦點(diǎn)。其作用與光學(xué)顯微鏡中的光學(xué)透鏡(凸透鏡)一樣,使光束聚焦,故稱為電子透鏡。光學(xué)鏡頭的焦點(diǎn)是固定的,而電子鏡頭的焦點(diǎn)是可以調(diào)節(jié)的,因此電子顯微鏡沒有光學(xué)顯微鏡那樣的可移動(dòng)鏡頭系統(tǒng)。
大多數(shù)現(xiàn)代電子顯微鏡都使用電磁透鏡,由非常穩(wěn)定的直流激勵(lì)電流通過帶極靴的線圈產(chǎn)生的強(qiáng)磁場(chǎng)聚焦。電子源由釋放自由電子的陰極、柵極和以環(huán)形加速電子的陽(yáng)極組成。陰極和陽(yáng)極之間的電壓差必須很高,一般在幾千伏到三百萬伏之間。它能以均勻的速度發(fā)射并形成電子束,因此加速電壓的穩(wěn)定性不低于萬分之一。
樣品可以穩(wěn)定地放置在樣品架上,常有可以改變樣品的裝置(如移動(dòng)、旋轉(zhuǎn)、加熱、冷卻、拉長(zhǎng)等)。檢測(cè)器用于收集電子信號(hào)或二次信號(hào)。真空裝置用于保證顯微鏡內(nèi)的真空狀態(tài),使電子在其路徑上不會(huì)被吸收或偏離。它由機(jī)械真空泵、擴(kuò)散泵和真空閥等組成,通過吸管與鏡筒相連。
電源柜由高壓發(fā)生器、勵(lì)磁穩(wěn)流器和各種調(diào)節(jié)控制單元組成。
以上內(nèi)容是對(duì)電子顯微鏡結(jié)構(gòu)的介紹。電子顯微鏡按結(jié)構(gòu)和用途可分為透射電子顯微鏡、掃描電子顯微鏡、反射電子顯微鏡和發(fā)射電子顯微鏡。鏡面等。透射電子顯微鏡常用于觀察普通顯微鏡無法分辨的精細(xì)材料結(jié)構(gòu);掃描電子顯微鏡主要用于觀察固體表面的形貌,也可與X射線衍射儀或電子能譜儀結(jié)合形成電子微探針用于材料成分分析;發(fā)射電子顯微鏡用于研究自發(fā)射電子表面。