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一、定義不同:
光學(xué)顯微鏡是一種利用光學(xué)原理將人眼無法分辨的微小物體放大成像的光學(xué)儀器,使人們能夠提取詳細(xì)的結(jié)構(gòu)信息。
自動(dòng)掃描電子顯微鏡技術(shù)的應(yīng)用是以光學(xué)顯微鏡為基礎(chǔ)的。光學(xué)顯微鏡的分辨率為0.2μm,而透射電子顯微鏡的分辨率為0.2nm,這意味著透射電子顯微鏡是在光學(xué)顯微鏡放大1000倍的基礎(chǔ)上進(jìn)行的。
2、分類不同:
光學(xué)顯微鏡的分類方法很多。按目鏡數(shù)量可分為三目、雙目和單目顯微鏡;根據(jù)圖像是否具有立體效果,可分為立體視覺和非立體視覺顯微鏡;按觀察對(duì)象可分為生物顯微鏡和金相顯微鏡等;按光學(xué)原理可分為偏光顯微鏡、相差顯微鏡和微分干涉顯微鏡等。
自動(dòng)掃描電子顯微鏡按結(jié)構(gòu)和用途可分為透射電子顯微鏡、掃描電子顯微鏡、反射電子顯微鏡和發(fā)射電子顯微鏡。
3. 不同的組成結(jié)構(gòu):
顯微鏡的光學(xué)系統(tǒng)主要包括物鏡、目鏡、反射鏡和聚光鏡四部分。從廣義上講,它還包括光源、過濾器、蓋玻片和載玻片。
全自動(dòng)掃描電子顯微鏡由鏡筒、真空裝置和電源柜三部分組成。
與光學(xué)顯微鏡和透射電子顯微鏡相比,掃描電子顯微鏡具有以下特點(diǎn):
1、可直接觀察試樣表面結(jié)構(gòu),試樣尺寸可達(dá)120mm×80mm×50mm。
2、制樣過程簡(jiǎn)單,無需切成薄片。
3、樣品在樣品室中可以平移和旋轉(zhuǎn)三度,因此可以從多個(gè)角度觀察樣品。
4.景深大,圖像具有立體效果。掃描電子顯微鏡的景深比光學(xué)顯微鏡大數(shù)百倍,比透射電子顯微鏡大幾十倍。
5、圖像放大范圍廣,分辨率較高。它可以放大十倍到幾十萬倍,基本包括放大鏡、光學(xué)顯微鏡到透射電子顯微鏡的放大范圍。分辨率介于光學(xué)顯微鏡和透射電子顯微鏡之間,可達(dá)3nm。
6、樣品對(duì)電子束的損傷和污染小。
7、在觀察形貌的同時(shí),還可以利用樣品的其他信號(hào)進(jìn)行微區(qū)成分分析。